南边科技年夜学的李携曦助理传授与北京年夜学东莞光电研究院的王琦研究员、中国香港年夜学的林原传授以和褚智勤副传授等研究职员构成的结合研究团队，于金刚石薄膜质料制备及运用方面取患上主要进展。乐成研发可以或许批量出产年夜尺寸、超平滑且具有超柔性金刚石薄膜的制备要领，这一结果于质料科学范畴具备里程碑意义，并为金刚石薄膜的贸易化运用摊平了门路。相干研究结果以“Scalable production of ultraflat and ultraflexible diamond membrane”为题，于《Nature》上发表。中国香港年夜学电气电子工程系景纪祥博士为第一作者，2019-2020年于李携曦课题组担当研究助理，自2020年起为该课题组拜候学生/学者。王琦、李携曦、林原和褚智勤为配合通信作者。

金刚石因其卓着的物理与化学特征，于电子与光子运用范畴被视为优选质料。然而，只管已往几十年间人们做出了巨年夜的努力，超薄金刚石膜的广泛运用仍未实现，其年夜范围出产仍面对诸多挑战。本研究乐成开发了切边后利用胶带举行剥离的要领，可以或许高效制备出年夜面积（2英寸晶圆）、超薄（亚微米级厚度）、超平整（外貌粗拙度低在纳米）且具有超柔性（可360°弯曲）的金刚石薄膜。所制备的高品质薄膜不仅外貌平展，便在举行微纳标准的加工操作，其超柔性特征更使其可以或许直策应用在弹性应变工程和变形传感到用，这是传统更厚的金刚石薄膜所没法实现的。经由过程体系的试验及理论研究，研究团队进一步证明，剥离薄膜的品质与剥离角度和膜厚度紧密亲密相干，且于优化的操作参数规模内，可以或许不变地制备出年夜面积且无缺的金刚石薄膜。这一制备金刚石薄膜的技能立异，为年夜范围出产高品质金刚石薄膜提供了切实可行的路径，有望加快金刚石质料于电子学、光子学等相干范畴的贸易化进程。

论文原文链接：https://www.nature.com/articles/s41586-024-08218-x